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自动分(fen)选系(xi)统当(dang)前位(wei)置:龙8_鉴(jian)黑担保平台(tai)  >>  产品(pin)展示

CP12 全自动12英寸探针台

项(xiang)目

CP12探针台

机台(tai)尺寸

1620mm(W) *1230(D)*1450mm(H)

适用(yong)晶圆

200mm,300mm

晶圆厚度

250~2000μm

Die Size

350μm ~76,000μm

晶圆搬运(yun)方式

背面(mian)真空吸取,双Arm

针测(ce)精(jing)度

XY:±1.5μm;Z:±2.5μm

XY平(ping)台

重复定位精(jing)度±1μm

Z轴(zhou)

重复(fu)定位精度±1.5μm,最大速度30mm/s

针测(ce)压力(li)

50kg(可选200kg)

校准方式

图像校准,高低倍模板匹配

Index Time

240ms(基于(yu)Die Size 6mm,Z Clearance 0.5mm)

测(ce)试温度

常温~150℃±1℃

通(tong)讯接口

GPIB,预(yu)留TTL和RS232

可选功能(neng)

ID读取,自动换卡

 

※主要针对CIS和SOC产品推出的高性价比探针台

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